在半导体制造过程中，晶圆（Wafer）的搬运与存储对环境洁净度、定位精度和运行稳定性要求极为严苛。作为自动化物料搬运系统（AMHS）的关键组成部分，晶圆Stocker系统承担着晶圆盒（FOUP）的自动存取、暂存与调度任务，广泛应用于前道光刻、刻蚀、薄膜等工艺段之间的缓冲存储区。在这一高精度、高洁净的运行环境中，半导体聚氨酯胶轮作为Stocker行走轮与驱动轮的核心部件，正以其卓越的性能成为洁净室存储设备的理想选择。
一、晶圆Stocker系统对行走部件的严苛要求
Stocker设备需在Class 1~5的超净环境中实现微米级定位精度，其行走机构长期处于高频启停、高速移动、精确定位的工作状态。因此，对行走轮（即晶圆Stocker行走轮）提出以下核心要求：
低颗粒释放（Low Particle Emission）：避免因轮子磨损产生微粒污染晶圆表面，导致良率下降；
防静电（Antistatic/ESD-Safe）：防止静电积聚引发晶圆损伤或设备误动作；
高尺寸精度与同心度：确保平稳运行，减少振动，提升定位重复性；
耐化学腐蚀：抵抗洁净室常用清洁剂如异丙醇（IPA）、去离子水、酒精等侵蚀；
静音低噪：降低设备运行噪音，改善Fab厂工作环境。
传统橡胶轮易老化、掉粉，金属轮则易产生摩擦颗粒且缺乏缓冲，均难以满足上述要求。而半导体聚氨酯胶轮凭借材料优势与精密制造工艺，成为最佳解决方案。
二、半导体聚氨酯胶轮的核心优势
超低发尘，保障洁净环境
采用高纯度、低析出的特种聚氨酯材料（如CPU或改性TPU），经过真空脱气处理，在动态摩擦下几乎不产生颗粒，符合ISO 14644-1 Class 1洁净室标准。
永久防静电设计
可定制体积电阻率在10⁴–10⁶ Ω·cm之间的抗静电聚氨酯，有效导走静电荷，防止晶圆吸附粉尘或遭受静电击穿（ESD damage）。
高精度加工，运行平稳
轮体经CNC精密车削与研磨，同心度可达±0.02mm以内，确保Stocker在高速运行中无跳动、无偏摆，提升定位精度与重复性。
优异耐磨与长寿命
聚氨酯硬度可调（通常为80A–90A），兼顾弹性与耐磨性，在数万次循环搬运中仍保持性能稳定，显著延长维护周期。
耐化学清洁剂，易于维护
表面对常见洁净室清洗液具有优异耐受性，可反复擦拭消毒而不龟裂、不溶胀，符合SEMI S2/S8等半导体设备安全规范。
三、洁净室存储设备包胶轮的典型应用
在Stocker系统中，聚氨酯胶轮主要应用于以下位置：
主行走轮：安装于设备底部，沿导轨水平移动，要求高承载、低噪音、精准导向；
驱动轮：配合电机传递动力，需具备高摩擦系数与抗打滑能力；
导向轮/侧轮：用于限制横向位移，确保设备运行轨迹直线性，常采用双列V型或平面包胶设计。
此外，该类聚氨酯轮也广泛应用于OHT（空中轨道车）、Load Port、Cassette Handler等其他半导体自动化设备中。
四、专业定制，满足多样需求
由于不同品牌Stocker（如Brooks、Asyst、Daifuku等）的轮组规格各异，洁净室存储设备包胶轮通常需根据原厂图纸或实样进行非标定制，包括：
轮径、轮宽、轴径、键槽匹配；
硬度、颜色、阻燃等级、导电性能选择；
提供材质检测报告、洁净度测试数据及RoHS/REACH合规证明。
专业包胶轮厂家采用一体化浇注包胶工艺，确保聚氨酯层与金属轮芯结合牢固，杜绝脱胶风险，并支持小批量试样与批量供货。