在半导体制造过程中,洁净度和精密度是决定产品质量的关键因素。为了确保生产设备在无尘环境中高效、稳定运行,半导体无尘车间专用的光电轮(光电检测轮)应运而生。这类轮子通常采用高性能聚氨酯包胶结构,兼具洁净性、耐磨性与静音特性,是半导体生产设备中不可或缺的重要部件。

一、光电轮的作用
光电轮主要应用于半导体洁净室内的自动化搬运设备,如OHT(Overhead Hoist Transport)系统、Stocker存储设备、AMR/AGV移动机器人等。
其核心作用包括:
精准驱动与定位:光电轮通过与光电传感系统配合,确保搬运装置的运行路径与速度精确可控。
洁净输送:轮体材料及结构设计可有效防止颗粒脱落,保持无尘环境等级。
平稳运行:高精度包胶层能吸收震动,降低运行噪音与振动对设备的影响。
二、主要特点
高洁净性材料
采用进口聚氨酯材料,低析出、低颗粒、无硅油污染,满足ISO Class 1–100级洁净室环境要求。
优异的耐磨性能
聚氨酯包胶层具有极高的耐磨性与抗撕裂强度,适用于长时间高频运行。
静音与缓冲性强
软硬度可根据设备载荷进行定制,有效吸震降噪,延长轴承及传动系统寿命。
高精度加工
轮芯采用高强度铝合金或不锈钢,包胶厚度及同心度误差可控制在±0.05 mm以内,确保转动稳定。
防静电设计(可选)
可根据半导体设备需求提供防静电配方,防止静电积聚对芯片或光电元件造成损伤。
三、适用场景
半导体晶圆厂洁净室自动输送设备
光电元件生产线
显示面板组装与检测设备
精密电子制造洁净室搬运系统
智能仓储与Stocker垂直存储系统
四、总结
半导体无尘车间光电轮以其洁净、耐磨、静音、精准的特性,成为洁净室自动化设备中可靠的传动与承载部件。Filson可根据客户设备需求,提供定制硬度、尺寸、颜色及防静电性能的聚氨酯光电轮解决方案,助力半导体产业的高效与高洁净生产。