在半导体制造过程中,洁净度和精密度是决定产品质量的关键因素。为了确保生产设备在无尘环境中高效、稳定运行,半导体无尘车间专用的光电轮(光电检测轮)应运而生。这类轮子通常采用高性能聚氨酯包胶结构,兼具洁净性、耐磨性与静音特性,是半导体生产设备中不可或缺的重要部件。

半导体无尘车间光电轮

一、光电轮的作用

光电轮主要应用于半导体洁净室内的自动化搬运设备,如OHT(Overhead Hoist Transport)系统、Stocker存储设备、AMR/AGV移动机器人等。

其核心作用包括:

精准驱动与定位:光电轮通过与光电传感系统配合,确保搬运装置的运行路径与速度精确可控。

洁净输送:轮体材料及结构设计可有效防止颗粒脱落,保持无尘环境等级。

平稳运行:高精度包胶层能吸收震动,降低运行噪音与振动对设备的影响。

二、主要特点

高洁净性材料

采用进口聚氨酯材料,低析出、低颗粒、无硅油污染,满足ISO Class 1–100级洁净室环境要求。

优异的耐磨性能

聚氨酯包胶层具有极高的耐磨性与抗撕裂强度,适用于长时间高频运行。

静音与缓冲性强

软硬度可根据设备载荷进行定制,有效吸震降噪,延长轴承及传动系统寿命。

高精度加工

轮芯采用高强度铝合金或不锈钢,包胶厚度及同心度误差可控制在±0.05 mm以内,确保转动稳定。

防静电设计(可选)

可根据半导体设备需求提供防静电配方,防止静电积聚对芯片或光电元件造成损伤。

三、适用场景

半导体晶圆厂洁净室自动输送设备

光电元件生产线

显示面板组装与检测设备

精密电子制造洁净室搬运系统

智能仓储与Stocker垂直存储系统

四、总结

半导体无尘车间光电轮以其洁净、耐磨、静音、精准的特性,成为洁净室自动化设备中可靠的传动与承载部件。Filson可根据客户设备需求,提供定制硬度、尺寸、颜色及防静电性能的聚氨酯光电轮解决方案,助力半导体产业的高效与高洁净生产。