OHS防静电轨道轮，一般是半导体自动物料搬运系统（AMHS）内空中穿梭车配套的聚氨酯包胶驱动轮 / 导向轮。它不同于普通脚轮，是洁净室天车的核心行走部件，需承受晶圆盒频繁启停产生的载荷，并将摩擦静电控制在安全区间，防止晶圆被静电击穿。

一、产品定位与核心作用

静电耗散：高速滑行与轨道摩擦会产生静电荷，必须及时导走，否则 ESD 会导致芯片报废（业内案例：采用防静电 PU 轮后，ESD 报废率从 0.3% 降至 0.02%）。

低产尘：聚氨酯致密光滑、无 VOC 释放，满足 Class 10–100 洁净室要求。

高精度定位：1–3 m/s 运行时定位精度 ±0.1 mm，振动幅度 ≤0.05 mm，避免干扰光刻机。

长寿命：耐磨性为普通橡胶 3–5 倍，寿命 5–8 年或 10 万公里以上。

OHS防静电轨道轮

二、聚氨酯防静电轮结构特点

轮芯：高强度铝合金或不锈钢，轻量化同时保证承载力。。

包胶层：厚度 5–20 mm，添加导电炭黑/碳纤维/碳纳米管等填料形成三维导电网络

结合工艺：冷硫化或浇注一体成型，结合强度 ≥12 MPa，耐剥离 5000 次循环无脱落。

轮面处理：镜面抛光 + 微凹槽/菱形花纹，提升抓地力并降低颗粒附着。

三、聚氨酯材料类型

聚氨酯材料类型性能特点与适用场景
TDI通用型，性能均衡，适用于常规负载和环境
MDI高性能，具备高耐磨、高强度、耐高温（可达90℃）特性，适用于重载、高频运行场景
NDI顶级性能，动态负载能力和抗内生热性能优异，适用于持续24/7高速运行工况，例如Vulkollan®品牌即为基于NDI材料
PPDI高端定制，在耐热、耐磨、耐化学品方面均表现突出，成本较高，适用于极端工况--43

四、主要应用场景

半导体晶圆厂：在光刻、刻蚀等核心工艺区之间，安全、洁净地传输晶圆盒（FOUP）。

平板显示器（FPD）面板厂：搬运超大尺寸（如G10.5代）的玻璃基板，防止因振动或静电导致微裂纹或吸附灰尘。

设备内部高温环境：在化学气相沉积（CVD）、刻蚀机等设备内部（80-120℃）稳定运行。

总结

洁净室聚氨酯轮凭借其防静电、低产尘、高耐磨的核心技术，已成为半导体与面板等高端制造业物流系统中不可或缺的隐形基石，为精密生产线的稳定与高效运转提供了关键保障。